第一步:計劃和準備
創(chuàng)建PFMEA項目，定義產品、跨職能團隊等信息，如下圖所示:
第二步:結構分析
根據晶圓研磨的工藝流程，定義結構，分析工藝工作要素(5M1E)，如下圖所示:
系統自動生成的工藝流程圖,如下:
第三步:功能分析
根據晶圓研磨的制造工藝，定義各種工藝項目、工藝步驟和工作要素的功能和要求，如下圖所示:
通過功能矩陣,維護過程項、過程步驟、工作要素的功能和要求的關聯關系:
第四步:故障分析
維護過程項目、過程步驟和工作要素的功能和要求失效，如下圖所示:
維護過程項、過程步驟、工作要素三級失效的關聯關系:
查看失效網:
第五步:風險分析
評分FMEA S/O/D并制定預防措施(PC)和檢測措施(DC)。
第六步:優(yōu)化
對H的AP(動作優(yōu)先級)和m的AP(動作優(yōu)先級)進行改進，重新制定預防措施和檢測措施，進一步改進，再重新評估。
任務分配:
步驟7:記錄(部分顯示以供參考)
FMEA分析完成后，將生成新版本的FMEA標準表單:
在E- FMEA軟件中，可以保證從PFMEA到控制計劃(CP)的數據一致性，即在FMEA中修改產品特性或過程特性后，同時修改控制計劃。
以上采用新版FMEA的分析方法和E- FMEA軟件對晶圓研磨的研磨過程進行分析，并用FMEA軟件進行制作和展示。
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